超純水装置とは？ABOUT SUPER DEONIZER

純水より更に純度を高くし限りなくH₂Oに近づけた水が超純水と呼ばれています。 理論上の数値としては、水温25℃時に導電率では約0.055μＳ/ｃｍ、比抵抗では約18.2ＭΩ・ｃｍといわれています。使用用途によってはその他の数値（エンドキシン、TOCなど）も含んだ総合的にレベルの高い水を指す場合が多くあります。 使用目的によって異なりますが、一般的には比抵抗：10.0～18.2ＭΩ・ｃｍの範囲を超純水と呼ぶ場合が多いです。

• 半導体製造の洗浄用超純水
• 医療用商品の洗浄用超純水
• 製薬用超純水
• 実験用超純水

など 超純水は半導体産業や医療品、薬品、各種発電所など緻密な精度を要求される現場で特に使用されております。 弊社では前処理として逆浸透膜法で純水を造り、更にEDI、イオン交換樹脂などを使用し純度レベルを高くしています。また、その他の数値をクリアするために、紫外線殺菌灯、中空糸膜、脱気膜などを利用したシステムをご提案しています。

また弊社の超純水装置は「JIS K0557 用水・排水の試験に用いる水」の製造も可能です。

 

JIS K0557:1998
用水・排水の試験に用いる水

項　目	種別及び質
	A1	A2	A3	A4
電気伝導率　mS/m（25℃）	0.5以下	0.1以下　※2、3	0.1以下　※2	0.1以下　※2
全有機炭素（TOC）　mg/L	1以下	0.5以下	0.2以下	0.05以下
亜鉛　μg/L	0.5以下	0.5以下	0.1以下	0.1以下
シリカ　μg/L	–	50以下	5.0以下	2.5以下
塩化物イオン　μg/L	10以下	2以下	1以下	1以下
硫酸イオンμg/L	10以下	2以下	1以下	1以下

※1…試験方法によっては項目を選択してもよい。また、試験方法で個別に使用す津水の規定がある場合はそれによる。
※2…水精製装置の出口水を電気伝導率の検出部に直接導入して測定したときの値。
※3…最終工程のイオン交換装置の出口に精密ろ過器などのろ過装置を直接接続し、出口水を電気伝導率計の検出部に直接導入した場合には
　　0.01mS/m（25℃）以下とする。

逆浸透膜式純水装置

 
浸透圧の原理を利用し、水中からイオン等の不純物を除去します。 
またイオンと同時に有機物等や微生物、微粒子等も除去し、純度の高い水を製造することが可能です。 
逆浸透膜を通してからイオン交換樹脂を使用することにより、より高純度の純水の製造が可能です。 
また、イオン交換樹脂の再生寿命が長くなります。 逆浸透膜を通してできた水の純度は概ね2～10μS/cm程度になります。

電気再生式純水装置（EDI）

イオンを吸着・除去するためのアニオン、カチオン交換膜を搭載し、また、それらの膜を、電気を使用し再生するユニットです。
従来の自動再生式のイオン交換樹脂は薬品を使用して再生を行います。
EDIでは電気を使用し再生を行うため、従来の薬品を使用した自動再生式のイオン交換樹脂と比較して運用面での安全性や、運用を行う上での利便性が優れています。
EDIを通してできた水の純度は10～17MΩ・cm程度になります。

イオン交換樹脂（IER）

アニオン、カチオン樹脂を使用しイオン吸着を行い、水中のイオンを除去し水の純度を高める役割を行います。
イオン交換樹脂は再生にコストがかかりますが、プライムネットの超純水システムでは逆浸透膜、EDIを通した後の水を原水とするため、
ランニングコストを安価にすることが可能です。
樹脂には様々な種類があり、プライムネットでは超純水用に強酸、強塩基性のイオン交換樹脂を使用しております。

装置実績（一例）

　　　　

　　　

超純水装置のお申し込みの流れ