超純水装置

純水より更に純度を高くし限りなくH2Oに近づけた水が超純水と呼ばれています。
理論上の数値としては、水温25℃時に導電率では約0.055μＳ/ｃｍ、比抵抗では約18.2ＭΩ・ｃｍになります。
その他の数値（エンドキシン、TOCなど）も含める場合もございます。
使用目的により異なりますが、一般的には比抵抗：10.0～18.2ＭΩ・ｃｍの範囲を超純水と呼びます。

• 超純水の使用用途は
• 半導体製造の洗浄用超純水
• 医療用商品の洗浄用超純水
• 製薬用超純水
• 実験用超純水

など 超純水は半導体産業や医療品、薬品、各種発電所など緻密な精度を要求される現場で特に使用されております。 弊社では前処理として逆浸透膜法で純水を造り、更にEDI、イオン交換樹脂などを使用し純度レベルを高くしています。また、その他の数値をクリアするために、紫外線殺菌灯、中空糸膜、脱気膜などを組み込んだシステムをご提案しております。

また弊社の超純水装置は「JIS K0557 用水・排水の試験に用いる水」に適合した水の製造も可能です。

JIS K0557:1998
用水・排水の試験に用いる水

※1…試験方法によっては項目を選択してもよい。また、試験方法で個別に使用する水の規定がある場合はそれによる。

※2…水精製装置の出口水を電気伝導率の検出部に直接導入して測定したときの値。

※3…最終工程のイオン交換装置の出口に精密ろ過器などのろ過装置を直接接続し、出口水を電気伝導率計の検出部に直接導入した場合には0.01mS/m（25℃）以下とする。